ASTRA-M 是一种基于磁控溅射技术、采用水平基板装载的在线真空镀膜系统，专为大规模批量生产设计，设备通过 HMI+PLC 系统实现全自动控制，并可与制造执行系统 (MES) 集成。

• 设备结构：镀膜系统由真空腔体和装卸载台 (可配置为自动化系统) 组成，安装于洁净室内。标准设计为单端式，可选配双端式设计；回传输送线采用无尘封闭结构。基板装载于传输载具上，经真空负载锁进入工艺腔体，在腔体内以恒定速度连续移动，且彼此间无间隙。

• 工艺腔体配置：配备基板清洗、薄膜沉积及必要时的后处理等所需的全部工艺系统

• 可选镀膜工艺 / 设备：离子束清洗系统、射频 (RF) 等离子清洗系统、平面磁控溅射单元 (直流 DC 或交流 AC)、圆柱旋转磁控溅射单元 (直流 DC 或交流 AC)、射频 (RF) 溅射源、防指纹镀膜用 AF 蒸发系统、光学监控系统

• 适配基板类型：玻璃、PET (或其他塑料薄膜)、其他材料可按需求定制

• 工艺优势：ZERO GAP 传输系统设计 (载具之间无间隙) 确保了卓越的溅射工艺稳定性，满足显示和触控行业对高质量增透膜 (AR Coating) 的要求