河北百思真空亮相CIOE 2025:离子束溅射镀膜设备与膜厚控制仪引领光学镀膜技术革新

2025-09-18

深圳国际会展中心举行的亚洲光电盛宴上,河北百思真空科技有限公司以其核心产品离子束溅射镀膜设备Lidiz系列)和膜厚控制仪(OCP)为主题,展示了在超低损耗激光反射镜制造领域的全面技术解决方案。

9月10日至12日,第26届中国国际光电博览会(CIOE 2025)在深圳国际会展中心隆重举行。河北百思真空科技有限公司作为光学真空镀膜领域的创新企业,在展会期间全面展示了其Lidiz系列离子束溅射镀膜设备OCP膜厚控制仪的先进技术。

河北百思真空CTO在光学真空镀膜大会上发表了"超低损耗激光反射镜制造中光学监控技术的关键意义"的主题演讲,深入分享了公司在光学监控技术方面的突破性进展。

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Lidiz离子束溅射镀膜设备:高精度光学镀膜的核心装备

河北百思真空的Lidiz系列离子束溅射镀膜设备代表了光学镀膜技术的先进水平。该系统配备射频离子束溅射源、清洗辅助射频离子束源和射频中和器,确保了工艺过程的高精度和稳定性。

Lidiz系列提供两种型号:Lidiz 700和Lidiz 1100,分别满足不同生产需求。Lidiz 700适用于高精度光学器件,涂层均匀性可达<±0.25%,而Lidiz 1100则在保持高精度的同时提供了更高生产率,涂层面积最大可达3840平方厘米。

系统采用干式(无油)泵送系统和超高真空镀膜设计,结合带有机械臂的负载锁真空室,确保了工艺过程的最大纯度。基片温度控制在<100°C(无加热器)或<250°C(带加热器),加热均匀性达到±2°C,满足各种敏感材料的镀膜需求。

OCP膜厚控制仪:智能监控镀膜过程的创新突破

OCP膜厚控制仪是河北百思真空的另一核心产品,是一种易于集成的软件和硬件解决方案,可确保对各种类型的真空设备上的光学涂层过程进行完全自动化控制。

该系列提供两种配置:OCP Broadband(宽带)和OCP Singlewave(单波)。OCP Broadband采用根据波长谱分析的宽带控制系统,光谱分辨率高达0.5nm,波长精度±0.2nm。OCP Singlewave则是针对特定波长进行参数分析的单波控制系统,提供极高的测量精度。

OCP膜厚控制仪的主要优势包括:在溅射过程中实时优化涂层结构、实现复杂多层涂层的全自动溅射过程、高光谱分辨率以及与真空溅射设备控制系统的完美集成。

卓越涂层质量满足高端应用需求

河北百思真空的技术解决方案能够生产出满足最苛刻要求的光学涂层:

低缺陷、低光学损耗涂层:采用离子束溅射技术,实现极低的涂层缺陷和光学损耗,表面粗糙度极低,对湿度敏感度低。

高稳定性涂层:涂层具有高附着力、高薄膜密度和高激光损伤阈值(LIDT),适用于高功率激光应用。

多样化涂层类型:系统可生产激光抵抗涂层、极化镜、分束镜、光纤涂层、窄带滤波器、带阻滤波器、宽带抗反射涂层以及超过100层的各种复杂光学涂层。

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广泛应用领域助推光电产业发展

河北百思真空的离子束溅射镀膜设备和膜厚控制仪可满足多个高端领域的应用需求:

激光技术:为高功率激光系统提供抗反射涂层和激光抵抗涂层,具有高激光损伤阈值。

通信产业:为光学纤维和激光二极管提供精密涂层,满足通信行业对高精度光学元件的需求。

精密仪器:生产各种滤波器和分束镜,适用于医疗设备、科研仪器和测量设备。

消费电子:为消费电子产品中的光学元件提供高质量涂层,推动产品性能提升。

深圳国际会展中心三天的展示与交流,让河北百思真空科技有限公司向业界清晰展示了其在超低损耗激光反射镜制造领域的技术实力。

光学真空镀膜技术作为现代光电产业的重要基础,其创新突破将助推多个领域的产品升级。

藉此CIOE 2025的成功举办,河北百思真空科技有限公司与全球光电产业同行一起,见证了技术创新如何引领产业未来,并为全球光电行业的发展注入新的活力。


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