AURORA I 是一种采用垂直镀膜设计的在线真空镀膜系统，其基板以 7-10 度的倾斜角安装在传输载具上，相对于垂直轴略微倾斜。该方案结合了垂直式设计的优点 (低颗粒污染工艺) 与水平装载的优势，使非生产区域 (无镀膜区域) 最小化，甚至为零。

• 设备结构：镀膜系统分为真空腔体和装卸载台 (可配置为与自动化系统联动)，均安装在洁净室内。标准设计为单端式，配备回转腔或移位腔；可选配双端式设计，实现两侧分别装卸载。基板固定在传输载具上，经真空负载锁进入工艺腔体，在腔体内以恒定速度连续移动，且载具之间无间隙。

• 工艺腔体配置：配备基板清洗、薄膜沉积及后续处理所需的全部设备，控制系统可与制造执行系统 (MES) 集成，实现智能化生产管理。

• 可选镀膜工艺 / 设备：离子束清洗系统、射频 (RF) 等离子清洗系统、平面磁控溅射单元 (直流 DC 或交流 AC)、圆柱旋转磁控溅射单元 (直流 DC 或交流 AC)、射频 (RF) 磁控源、AF 蒸发系统 (防指纹镀膜系统)、光学监控系统

• 适配基板类型：玻璃、PET (或其他塑料薄膜)、其他材料可按需求定制

• 工艺优势："零间隙" 传输系统设计 (载具间无间隙) 确保了溅射工艺的极高稳定性，满足显示与触控行业高品质增透膜 (AR) 的严苛要求。