Meridian 是一种适用于高精度光学涂层高效率沉积的有效系统，可广泛应用于各类领域。该系统能够以高精度和卓越品质沉积多种材料的薄膜，光学控制技术使整个工艺实现全自动化，并显著提升生产效率。

主要优势：长距离溅射配置，实现无颗粒污染的涂层工艺；自下而上溅射 (Sputter-Up) 配置；高产量双磁控交流溅射系统；长寿命射频 (RF) 等离子源，用于预清洗和辅助沉积；原位光学监控系统 (Izovac OCP)；双旋转行星式基片架，可安装不同尺寸基片 (200、250 和 300mm)

使用范围：超窄带滤光片、多区域滤光片、陡峭边沿滤光片、单通道和 3 通道陷波滤光片、激光反射镜、薄膜偏振器、分束器

使用范围

• 超窄带滤光片

• 多区域滤光片

• 陡峭边沿滤光片

• 单通道和多通道陷波滤光片

• 薄膜偏振器

• 分束器

技术数据